Analyse des composantes du système de détection
Introduction du projet
La spectrométrie dispersée d'énergie (EDS) est une technique d'analyse utilisée pour l'analyse et la caractérisation d'échantillons.Il est généralement utilisé conjointement avec un microscope électronique à balayage et un microscope électronique à transmission pour analyser les types et le contenu des éléments dans la micro-région du matériau: les rayons X caractéristiques générés lorsque le faisceau d'électrons interagit avec le matériau sont utilisés pour fournir des informations sur la composition chimique de l'échantillon,et la plupart des éléments (Be4-PU94) peuvent être détectés de manière qualitative et semi-quantitative, et les contaminants de surface peuvent être analysés.

Laboratoire d'analyse des composants

Principe expérimental
Dans les microscopes électroniques à balayage et les microscopes électroniques à transmission modernes, le spectromètre dispersif d'énergie (EDS) est un accessoire important.Il partage un ensemble de systèmes optiques avec la machine principale, et peut effectuer une analyse ponctuelle, une analyse de surface et une analyse linéaire sur la composition chimique des parties d'intérêt du matériau.

Avantages du système de détection des déchets
(1) Vitesse d'analyse rapide et efficacité élevée.Il peut réaliser simultanément une analyse qualitative et quantitative rapide de tous les éléments dont le numéro atomique est compris entre 11 et 92 (même les éléments ultra-légers tels que le C, N et O);
(2) Bonne stabilité et bonne répétabilité;
(3) Peut être utilisé pour l'analyse des composants des surfaces rugueuses (fractures, etc.);
(4) Peut mesurer la séparation des composants dans les matériaux, etc.

Principe de fonctionnement de l'EDS
The probe receives characteristic X-ray signals → converts characteristic X-ray light signals into electrical pulse signals with different heights → amplifier amplifies the signals → multi-channel pulse analyzer encodes pulse signals representing X-rays of different energies (wavelengths) into different channels according to their heights → displays spectrum lines on the fluorescent screen → uses computers for qualitative and quantitative calculations.

Structure des SDE
1Détecteur: convertit les signaux de photons de rayons X en signaux d'impulsions électriques, et la hauteur de l'impulsion est proportionnelle à l'énergie des photons de rayons X.

2Amplificateur: amplifie les signaux électriques.

3. analyseur de hauteur d'impulsion multicanal: les impulsions sont programmées en différents canaux selon leur hauteur, c'est-à-direDifférents rayons X caractéristiques sont distingués selon leurs énergies.

4- Système de traitement et d'affichage du signal: spectre d'identification, calculs qualitatifs et quantitatifs; enregistrement des résultats d'analyse.

Analyse du SDE
1L'analyse qualitative: les pics du spectre EDS représentent les éléments présents dans l'échantillon. L'analyse qualitative est la première étape de l'analyse d'échantillons inconnus, c'est-à-direidentifier les éléments contenusSi le type d'élément ne peut pas être correctement identifié, l'exactitude de l'analyse quantitative finale n'a pas de sens.mais pour la détermination d'éléments mineurs ou en traces, il ne peut être précis qu'en traitant soigneusement l'interférence, la distorsion et le système de lignes spectrales de chaque élément.L'analyse qualitative est divisée en analyse qualitative automatique et analyse qualitative manuelleL'analyse qualitative automatique détermine la position de pointe en fonction de la position énergétique.Il suffit de cliquer sur le bouton "Opération/Analyse qualitative" pour afficher le symbole de l'élément correspondant à chaque position de pic du spectreL'analyse qualitative automatique a une vitesse de reconnaissance rapide, mais en raison de l'interférence grave du chevauchement des pics spectraux, certaines erreurs se produiront.

2. analyse quantitative: l'analyse quantitative consiste à obtenir la concentration des différents éléments qui composent le matériel de l'échantillon par l'intensité des rayons X. Selon la situation réelle,des personnes ont cherché et proposé une méthode pour mesurer le rapport d'intensité des échantillons inconnus et des échantillons standardLa technique de correction quantitative la plus largement utilisée est la correction ZAF.

3Analyse de la répartition de surface des éléments: dans la plupart des cas, le faisceau d'électrons n'est projeté qu'à un certain point de l'échantillon afin d'obtenir le spectre des rayons X et la teneur en composants de ce point,qui s'appelle la méthode d'analyse des pointsDans les nouveaux SEM modernes, la plupart des différents états de répartition des composants d'une certaine zone de l'échantillon peuvent être obtenus, c'est-à-dire:le faisceau d'électrons est scanné en deux dimensions sur l'échantillon, et l'intensité de ses rayons X caractéristiques est mesurée,de sorte que le changement de luminosité correspondant à cette intensité est synchronisé avec le signal de balayage et affiché sur le tube à rayons cathodiques CRTCette méthode d'analyse est appelée méthode d'analyse de la distribution de surface des éléments.qui est une méthode très pratique pour mesurer la distribution bidimensionnelle des éléments.